图：2022秋课程合影

       2019级本科生田川介绍，“虽然理论课需要记忆的内容比较多，但通过实验室中的实践操作，我做到了理论与实践相互印证。”

       课程设计主要通过讲解、培训及引导实践三个环节来进行。任课老师和量子器件中心工程师首先会全面讲解材料与器件基础、以及光刻、镀膜、刻蚀、量测等微纳工艺基础知识；在此基础上，工艺工程师会分别就仪器的工作原理及使用进行培训，使同学们掌握每个工艺模块和相关仪器的具体操作；最后在助教的带领下进行不同短流程工艺和实验课程项目进行流片。

       “在课程中，我们不仅跟随课堂完成了微纳工艺设备的学习，同时也对于光刻与金属剥离的工艺环节进行了实验设计。” 2019级本科生倪浩睿表示，“在与同学老师的讨论中，我将理论与实验相结合，对微纳工艺有了更加深刻的理解，为未来从事微纳器件领域的学习与科研打下了坚实的基础。”

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