微纳工艺实验课程2022秋季班结课!

       微纳工艺实验课,带你体验微纳加工全过程

        微纳加工工艺水平与集成电路和微纳传感器芯片制造等关键领域息息相关。为对接国家重大战略需求和探索高水平、创新型研究生培养体系,上海科技大学信息科学与技术学院吴涛教授联合上海科技大学量子器件中心开设了“微纳加工工艺实验”的本研一体课程,旨在让学生通过芯片设计、版图绘制、工艺实训等环节,使学生系统了解并掌握微电子芯片的开发和微纳加工制造全流程,将理论和实践更好的结合。

图:2022秋课程合影

       2019级本科生田川介绍,“虽然理论课需要记忆的内容比较多,但通过实验室中的实践操作,我做到了理论与实践相互印证。”

       课程设计主要通过讲解、培训及引导实践三个环节来进行。任课老师和量子器件中心工程师首先会全面讲解材料与器件基础、以及光刻、镀膜、刻蚀、量测等微纳工艺基础知识;在此基础上,工艺工程师会分别就仪器的工作原理及使用进行培训,使同学们掌握每个工艺模块和相关仪器的具体操作;最后在助教的带领下进行不同短流程工艺和实验课程项目进行流片。

       “在课程中,我们不仅跟随课堂完成了微纳工艺设备的学习,同时也对于光刻与金属剥离的工艺环节进行了实验设计。” 2019级本科生倪浩睿表示,“在与同学老师的讨论中,我将理论与实验相结合,对微纳工艺有了更加深刻的理解,为未来从事微纳器件领域的学习与科研打下了坚实的基础。”

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