《压电微机电谐振器》一书正式出版!

由吴涛和李昕欣老师共同翻译的《压电微机电谐振器》一书正式出版!

本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等,并针对相关器件商业化难题进行了讨论,给出了两个成功案例。

本书共16章,包含4部分内容:第Ⅰ部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料;第Ⅱ部分介绍了相关谐振器的种类和特色;第Ⅲ部分介绍了压电MEMS谐振器的较为先进的设计理念以及建模、测试和评估方法;第Ⅳ部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题,给出了相关案例。

本书面向致力于从事压电MEMS谐振器研究的工程师和科研人员,也可以作为相关专业师生的参考用书。